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什么是無機(jī)雜質(zhì)

什么是有機(jī)雜質(zhì)? 有機(jī)雜質(zhì)，也被稱為有機(jī)污染物

標(biāo)準(zhǔn)SEMI F57：用于超純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)的聚合物材料及組件的規(guī)范文件，規(guī)定了在UPW分配系統(tǒng)中輸送超純水(UPW)的超高純度(UHP)聚合物材料和組件的最低性能要求

SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)適用的主要產(chǎn)品類別有：

 1）半導(dǎo)體超純水和液態(tài)化學(xué)品傳送系統(tǒng)中的聚合物材料、組件及過程設(shè)備

• 針對(duì)金屬離子污染

  ，主要有22類

  ，其分別的限制如下：

• TOC可以對(duì)半導(dǎo)體加工產(chǎn)生影響，包括硅氧化

  、蝕刻均勻性

  、清洗（包括晶片和掩模）、粘附

  、柵氧化層擊穿電壓

  、外延、原子層沉積（ALD）

  、氮化硅的CVD或其他薄膜沉積步驟

  。TOC限值要求如下：

（1）根據(jù)SEMI F40提取方法的要求進(jìn)行沖洗和浸泡后，取5cmX5cm樣品

1. 金屬檢測(cè)：PlasmaQuant MS 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）

• 無與倫比的高靈敏度，滿足半導(dǎo)體追求極限低含量檢測(cè)需求

  。 

• iCRC集成化碰撞反應(yīng)池技術(shù)

  ，高效、安全

  、快速

  、方便地消除干擾。

• 3D聚焦離子反射鏡在提高靈敏度的同時(shí)無需維護(hù)降低背景

  。

• 全數(shù)字檢測(cè)系統(tǒng)高達(dá)11個(gè)數(shù)量級(jí)的線性動(dòng)態(tài)范圍

  ，使得高低濃度測(cè)量無需分別校正。

• 高解析四極桿提供更好的質(zhì)量分離效果

  。

• 穩(wěn)定強(qiáng)勁的等離子體

  ，適合任何基體樣品測(cè)試。

• 快速分析

  ，冷開機(jī)5分鐘即可達(dá)到工作狀態(tài)

  。

• 低消耗

  ，氬氣消耗量僅為常規(guī)儀器的一半。

2. 總有機(jī)碳分析：multi N/C UV HS 總有機(jī)碳分析儀（TOC）

• 超強(qiáng)氧化消解能力保證樣品完全氧化

  ，254nm和185nm雙波長高能量紫外反應(yīng)池

  。

• 全量程高聚焦NDIR檢測(cè)器，0-10000ppm測(cè)量范圍

  ，無需量程轉(zhuǎn)換。自動(dòng)漂移校正

  、補(bǔ)償

  ， 無需任何稀釋，免維護(hù)檢測(cè)器

  ，滿足潔凈及污染任何狀態(tài)下樣品分析

  。

• 極強(qiáng)的抗干擾能力，避免其他雜質(zhì)共存干擾

  。

• 高靈敏度

  ，高達(dá)20mL進(jìn)樣體積，靈活調(diào)節(jié)靈敏度
  ，擴(kuò)展應(yīng)用范圍
  。

• 免維護(hù)帕爾貼干燥單元，無需模式干燥器及化學(xué)干燥劑

  ，節(jié)省成本
  ，操作更為簡便。

• VITA流速管理系統(tǒng)

  ，實(shí)時(shí)提供流速補(bǔ)償消除波動(dòng)
  ，得到絕對(duì)可靠的分析結(jié)果，儀器長期穩(wěn)定
  ，一年內(nèi)無需反復(fù)校正
  。
  • 極強(qiáng)的耐鹽能力，最高可允許85g/L含鹽樣品直接進(jìn)樣分析

    。

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小 結(jié)